電子制造業(yè)潔凈室的特點(diǎn)分析
信息來(lái)源：http://www.bckgg.com 發(fā)布時(shí)間：2015/10/5 20:12:56 點(diǎn)擊數(shù)：
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電子制造業(yè)的發(fā)展帶動(dòng)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)也因?yàn)殡娮又圃旒夹g(shù)的進(jìn)步，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求越來(lái)越高，也給潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈室設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合性的技術(shù)，只要了解了它的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，才能保證潔凈室的合格，也才能讓電子制造業(yè)的產(chǎn)品次品率更低，從而提高生產(chǎn)效率。
電子制造業(yè)潔凈室的特點(diǎn):
電子制造業(yè)潔凈室的風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等都要嚴(yán)格按照要求來(lái)控制，照度和潔凈室截面風(fēng)速應(yīng)按照設(shè)計(jì)或者規(guī)范來(lái)控制。此外，電子制造業(yè)潔凈室對(duì)靜電、濕度的控制極其嚴(yán)格。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。
一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時(shí)可有效地控制靜電，并使人也感覺(jué)舒適。
芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。具體規(guī)定為:
1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
4、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值：
5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
之后，無(wú)塵室的送風(fēng)量應(yīng)取下面三項(xiàng)大值：1：保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；2：根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；3：向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。